最常见的金属表面污染物种类包括颗粒、薄膜和分子污染物,它们可以是有机或无机污染物、离子污染物或者微生物污染物。其它种类的污染物还包括金属、有毒和有害化学物质,放射性物质,以及被确认存在于特定行业表面上的生物物质等。金属表面污染可以有多种形式,并且可以以不同的状态存在于表面上。常见的污染源包括加工油和润滑脂、液压机液体和清洗液、黏合剂、蜡、人为污染物和微粒等。此外,来源众多的其它化学污染物也可能会污染表面典型的清洗规格是根据清洗后表面残留的特定或特有污染物的数量来确定的在精密技术领域,清洁度等级通常是专门针对颗粒制定的,也可以针对烃类污染物制定,用非挥发残留物(NVR)来表示例如,世界各地的民用和军用航天局,其空间硬件表面清洁度的标准特指单位面积内微米级颗粒的数量和每平方厘米范围内NVR的微克数。清洁度等级是根据行业内建立的Iet-std-CC1246D污染水平标准而制定的,对颗粒分为1~1000级,对NVR则分为AA5级(0.1ng/cm2)至J级(0.025mg/cm2)在许多商业应用中,精密清洁度的标准被定义为有机污染物含量<10ug/cm2,尽管在许多应用中要求为1g/cm2。这些 金属表面处理清洗剂清洁度等级通常是部件的功能所期望的或者要求达到的,相关部件包括金属装置、电子组件、光学和激光元件、精密机械零件和计算机部件等。