一般而言，线切割结束的晶圆为尚粘附于梁的形态，且对线切割时粘附在晶圆上的研磨液和切屑实施清洗，如清洗不干净，会影响晶圆的后续工序和晶圆的质量，往往会需要使用切割清洗剂，保障下一道工序的进行。

切割清洗剂的产品特点：

1.无残留，易漂洗

2.低气味，不腐蚀，不污染环境

3.不腐蚀硅片，无白班、花斑、腐蚀等不良；

4.可快速清除线切割后的硅粉、残胶，氧化物和油污；

5.槽液使用寿命长，易维护，不漂油，不返沾油污

6.符合欧盟RoHS认证要求

切割清洗剂是一款由多种表面活性剂、助剂复配而成浓缩型水基清洗剂，具有优秀的润湿、渗透、络合能力，可快速清除硅晶片表面残留的硅粉、残胶，氧化物和油污，清洗后硅片表面无白班、花斑、腐蚀等不良。

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